|
一、
負偏壓電源
1.
直流負偏壓電源
電源特性：基于IGBT組件構成穩流電路，過流保護及匹配性能好；
特別適用于PVD的清洗、轟擊、加熱、刻蝕和沉積工藝。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
空載
電壓
|
工作電壓范圍
(V)
|
最大輸出電流
|
最大輸出功率
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
DCNV1kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
3/2/1
A
|
1 kW
|
400×440×200
|
DCNV2kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
6/4/2
A
|
2 kW
|
400×440×200
|
DCNV5kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
15/10/5
A
|
5 kW
|
450×440×200
|
DCNV10kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
30/20/
10A
|
10 kW
|
500×440×200
|
DCNV20kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
60/40/
20A
|
20 kW
|
550×440×200
|
DCNV50kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
150/100/
50A
|
50 kW
|
600×440×200
|
2.
單極脈沖偏壓電源
電源特性：基于IGBT組件構成占空比可調（5%~95%）的40 kHz單極脈沖穩流電路，有效抑制打火及改善鍍膜質量；
特別適用于高品質鍍膜系統。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
空載
電壓
|
工作電壓范圍
(V)
|
最大輸出電流
|
最大輸出功率
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
DCNV1kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
3/2/1
A
|
1 kW
|
400×440×200
|
DCNV2kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
6/4/2
A
|
2 kW
|
400×440×200
|
DCNV5kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
15/10/5
A
|
5 kW
|
450×440×200
|
DCNV10kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
30/20/
10A
|
10 kW
|
500×440×200
|
DCNV20kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
60/40/
20A
|
20 kW
|
550×440×200
|
DCNV50kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
150/100/
50A
|
50 kW
|
600×440×200
|
二、
磁控濺射電源
1.
直流磁控濺射電源
電源特性：基于IGBT組件構成穩流電路，過流保護及匹配性能好；
特別適用于PVD金屬靶材濺射鍍膜。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
空載電壓
|
工作電壓范圍
|
最大輸出電流
|
最大輸出功率
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
備注
|
DCMS
1A
|
1200V
|
200~600V
|
1A
|
0.6 kW
|
400×440×200
|
|
DCMS
2A
|
1200V
|
200~600V
|
2A
|
1.2 kW
|
400×440×200
|
|
DCMS
5A
|
1200V
|
200~600V
|
5A
|
3.0 kW
|
450×440×200
|
|
DCMS
10A
|
1200V
|
200~600V
|
10A
|
6.0 kW
|
500×440×200
|
|
DCMS
20A
|
1200V
|
200~600V
|
20A
|
12.0 kW
|
550×440×200
|
|
DCMS
50A
|
1200V
|
200~600V
|
50A
|
30.0 kW
|
600×440×200
|
|
2.
中頻交流磁控濺射電源
電源特性：基于IGBT組件構成高頻脈沖穩流電路，有效抑制打火及靶中毒；
特別適用于PVD金屬和石墨等導電靶材濺射鍍膜。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
空載電壓
|
工作電壓范圍
|
最大輸出電流
|
最大輸出功率
|
工作頻率
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
MFMS
1A
|
1000V
|
200~600V
|
1A
|
0.6 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MFMS
2A
|
1000V
|
200~600V
|
2A
|
1.2 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MFMS
5A
|
1000V
|
200~600V
|
5A
|
3.0 kW
|
40 kHz
|
450×440×200
|
MFMS
10A
|
1000V
|
200~600V
|
10A
|
6.0 kW
|
40 kHz
|
500×440×200
|
MFMS
20A
|
1000V
|
200~600V
|
20A
|
12.0 kW
|
40 kHz
|
550×440×200
|
MFMS
50A
|
1000V
|
200~600V
|
50A
|
30.0 kW
|
40 kHz
|
600×440×200
|
3.
單極脈沖磁控濺射電源
電源特性：基于IGBT組件構成占空比可調的單極脈沖穩流電路，有效抑制打火及靶中毒；
特別適用于P VD金屬和石墨等導電靶材濺射鍍膜。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
空載電壓
|
工作電壓范圍
|
最大輸出電流
|
最大輸出功率
|
工作頻率
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
MPMS
1A
|
1000V
|
200~600V
|
1A
|
0.6 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MPMS
2A
|
1000V
|
200~600V
|
2A
|
1.2 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MPMS
5A
|
1000V
|
200~600V
|
5A
|
3.0 kW
|
40 kHz
|
450×440×200
|
MPMS
10A
|
1000V
|
200~600V
|
10A
|
6.0 kW
|
40 kHz
|
500×440×200
|
MPMS
20A
|
1000V
|
200~600V
|
20A
|
12.0 kW
|
40 kHz
|
550×440×200
|
MPMS
50A
|
1000V
|
200~600V
|
50A
|
30.0 kW
|
40 kHz
|
600×440×200
|
三、
弧蒸發電源
電源特性：基于IGBT組件構成穩流電路，體積小，效率高，控制方便，穩弧能力強；
特別適用于蒸發各種金屬和石墨靶材。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
最大功率
（kW）
|
工作電流
（A）
|
空載電壓
（V）
|
工作電壓
（V）
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
ARC
150A
|
5
|
30~150
|
70
|
16~30
|
450×440×200
|
ARC
200A
|
6
|
50~200
|
70
|
20~30
|
450×440×200
|
四、
低壓直流穩流電源
電源特性：基于IGBT組件構成穩流電路，體積小，效率高，控制方便，穩定度高；
特別適用于微波ECR等離子體發生器電磁線圈供電。
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
最大輸出功率
（kW）
|
工作電流
（A）
|
最大輸出電壓
（V）
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
COIL2000W
|
2
|
50~200
|
10
|
400×440×200
|
COIL3000W
|
3
|
50~200
|
15
|
400×440×200
|
|
|
|
|
|
|
五、
中頻高壓電源
電源特性：基于IGBT組件構成中頻高壓穩流電路，有效控制高壓放電擊穿現象；
電源參數可按具體要求制作，參考型號如下：
型號
|
空載電壓
|
工作
電壓
|
最大輸
出電流
|
最大輸入功率
|
工作頻率
|
機箱尺寸
深×寬×高
|
MFHV
1000A
|
15 kV
|
~4 kV
|
200 mA
|
1.0 kW
|
20-40 kHz
|
400×440×200
|
MFHV1000D
|
20 kV
|
~6 kV
|
200 mA
|
1.0 kW
|
20-40 kHz
|
380×250×200
|
|
