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| 環(huán)縫微波等離子試驗(yàn)裝置 |
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環(huán)縫微波放電的等離子發(fā)生裝置原理圖 |
如上圖所示的環(huán)縫微波等離子試驗(yàn)裝置是微波通過環(huán)形波導(dǎo)內(nèi)側(cè)的環(huán)縫進(jìn)入石英真空室激發(fā)氣體放電產(chǎn)生濃密的等離子體，具有如下優(yōu)點(diǎn)：
* 運(yùn)行氣壓范圍寬：10-2 mbar～ 100 mbar的任意氣體；
* 空間均勻性好：即使在比較高的氣壓下等離子體也不會聚集；
* 無極放電：不存在來自于電極材料對等離子體的污染；
* 非熱等離子體，電子溫度比離子和氣體分子的溫度高得多；
* 可長時間連續(xù)運(yùn)行。
基本參數(shù)
* 等離子形狀：橢球；
* 等離子直徑約130 mm；
* 下游等離子密度：1010-1011/cm-3
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