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| 微波表面波等離子炬 |
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左圖部件說明：
1-短路活塞；
2-矩形波導；
3-通道壓縮塊；
4-旋轉進氣環；
5-點火器；
6-圓波導；
7-介質管；
8-出氣口；
9-等離子體；
10-環形器；
11-激勵腔；
12微波管。 |
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微波表面波等離子炬 |
技術特點：
- 由于放電區局限在耐高溫的介質管內，因而等離子體純凈度很高，可以用來制備高純度材料，例如用來生產太陽能級，乃至半導體級晶體硅；
- 由于放電區局限在耐高溫的介質管內，產生的等離子體能量密度很高，因而既可以用來高效離解鍵能很高的化合物，也可以用來合成鍵能很高的化合物；
- 高能量密度的等離子體可以用來凈化任何有毒有害物質；
- 等離子體炬在常壓下運行，不需要真空設備，所采用的微波系統都是已工程化的微波設備，結構簡單，調節方便，運行可靠，轉換效率高，價格便宜。
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